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超純水



 
       超純水是接近高純度的水,即除了氫離子與氧離子,幾乎沒有任何其他電解質(zhì)存在的水中。
       在制造處理過程后能盡可能將溶在水中或在水中散播的各種雜質(zhì)除去,包含像是有機物、細菌、塵埃、氧化物等任何物質(zhì)。
       根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,隨著制程的開發(fā),使得晶圓線路更加細致,所使用的清洗用水,也需要更加提升。
       為了介于以往的純水名稱,故命名為超純水。電阻率約達到18.2MΩ-cm,幾乎不能導電,依據(jù)電子行業(yè)超純水標準,還有很多其他的指標要求。
       超純水主要使用在晶圓洗凈,將經(jīng)過蝕刻之晶圓進行洗凈,去除晶圓表面殘留氫氟酸等溶液。經(jīng)由多重過濾,離子交換,除氣,逆滲透,紫外線,超濾,奈米濾,離子吸附過濾所產(chǎn)生超純水。
       超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水,其電阻率大于18 MΩ*cm,或接近18.3 MΩ*cm極限值(25℃)。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 。這樣的水是一般工藝很難達到的程度,理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理,但是交換樹脂的再生不便,質(zhì)量難以保證。


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